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FASENS-Messprotokolle: optische POLYTEC + elektrische Impedanz/GAIN-PHASE Messungen an Silizium-Strukturen

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ThomasFabula/FASENS_Messungen

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FASENS_Messungen

FASENS

  • Gegenstand: BMFT-Verbundprojekt mit Verbundpartnern
  • Begriffsdefinition: FASENS = Frequenzanaloge Sensoren
  • Sensorarten: Resonante Druck- und Kraft-Sensoren, Strömung, etc.
  • Anregung: piezoelektrischer Antrieb (ZnO-Dünnschicht, PZT-Keramik, bzw. Quarz-Technologie)

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FASENS-Messprotokolle: optische POLYTEC + elektrische Impedanz/GAIN-PHASE Messungen an Silizium-Strukturen

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